株式会社 東北テクノアーチ TOHOKU TECHNO ARCH

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発明から生まれた製品・サービスの事例

トラッキングエリプソメータ DCA-FZT

 

  株式会社東北テクノアーチと株式会社溝尻光学工業所様(東京都)は、10nmオーダーで成膜中あるいはエッチング中に膜厚をその場観測出来るトラッキングエリプソメータについて、2002年4月にノウハウ契約を締結しました。
  この装置は、東北大学多元物質研究所山本教授のノウハウによるもので、このノウハウを東北テクノアーチが譲り受け、これを民間企業にライセンスを行い製品化したものです。
  従来からこのトラッキングエリプソメータにより山本教授らのグループは数多くの研究成果を発表してまいりましたが、今回、この技術が企業に技術移転され製品化されたことにより、この技術の幅広い活用が可能となりました。

 

溝尻光学工業所様新製品紹介ページ

 

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トラッキングエリプソメータ DCA-FZT

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