曲率分布結晶レンズおよびX線反射率測定装置

集光精度の高い曲率分布結晶レンズを実現！Ｘ線強度を高め、装置の小型化、長寿命化が可能！

概要

　従来のＸ線用モノクロメータは、分光結晶を弾性的に少し曲げ、その後研磨に よって所定の回折が均一に得られるように仕上げが行われている。しかし、この弾性 限界内で変形させた作成方法では、曲率の大きな曲げができないため、大型の Ｘ線装置にしか用いることができないことに加え、弾性変形結晶の保持における変 形量の安定性、経年変化の問題もある。

　 本発明によって、入射角範囲が広く、集光精度の高い曲率分布結晶レンズを実 現することが可能となった。本発明の曲率分布結晶レンズは、GeまたはSiの(110) 単結晶板を高温型押し成型により塑性変形させて作られることを特徴としている。 また、本発明のＸ線反射率測定装置は、上記の曲率分布結晶レンズを備えるこ とで広角度での集光が可能となり、Ｘ線強度を飛躍的に高めることができる。

良好な均一性の積分反射強度および半値幅が得られる

応用例

・X線の回折等に用いられる曲率分布結晶レンズ　
・CT、EPMA、XRF、XRD、XPS、XRC、XRR等の分析検査装置
・X線望遠鏡、人工衛星等
・医療分野

関連文献

[1] K. Nakajima, K. Fujiwara, W. Pan, and H. Okuda, Nature Mater. 4, 47-50 (2005).
[2] H. Okuda, K. Nakajima, K. Fujiwara, and S. Ochiai, J. Appl. Cryst. 39, 443-445 (2006).
[3] H. Hiraka, K. Fujiwara, K. Yamada, K. Morishita, and K. Nakajima, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A 635, 137-140 (2011).
[4] H. Okuda, K. Morishita, K. Nakajima, K. Fujiwara, I. Yonenaga, and S. Ochiai, Appl.Phys. Exp. 3, 046601 (2010).
[5] K. Hayashi, K. Nakajima, K. Fujiwara, and S. Nishikata, Review of Scientific Instruments 79, 033110 (2008).

知的財産データ

知財関連番号　： 特許4973960（日本）
発明者　　　　： 奥田　浩司、中嶋　一雄、藤原　航三
技術キーワード： レンズ、結晶レンズ、集光レンズ、シリコン(Si)、ゲルマニウム(Ge)