高周波近傍磁界測定装置

サブミクロン以下の空間分解能を有した高周波近傍磁界測定法

概要

　GHz級の超高速通信が可能な携帯情報端末（スマートフォン、タブレット等）のRFIC(Radio Frequency IC)においてデジタル回路からアナログ回路に電磁ノイズが混入する問題が深刻化している。 従来、ICチップ上の高周波近傍磁界を測定するためには、「高空間分解能」と「GHz帯の測定周波数」を有する測定法が必要であるが、既存の高周波近傍磁界測定法（Shielded loop coil型磁界プローブ、磁気光学プローブ、巨大磁気抵抗型センサー等）は、何れもその条件を満たしていない。
　本発明は、磁気力顕微鏡(Magnetic Force Microscope, MFM)探針を用い、場のうなりを利用するBeating Field方式による高周波近傍磁界測定装置に関するもので、具体的には磁界測定の妨げになる電界の 分離（除去）を可能とする構成とカンチレバーの駆動部および検出部の変更構成とを追加するものである。

応用例

・RFIC検査装置等

知的財産データ

知財関連番号　： 特許第5958895号、特許第6327614号
発明者　　　　： 遠藤　恭、山口　正洋、島田　寛、室賀　翔
技術キーワード： エレクトロニクス、情報・通信（ハードウエア）