高感度で安価な振動センサ

磁歪層の透磁率の変化を高周波インピーダンスの変化として振動を検出

概要

　現在の技術で最も高い感度を有する振動センサとしてレーザードップラー振動計やMEMS技術を利用した加速度センサが知られているが、高価であるため、診断対象物に対する多数個の取り付けが難しい。一方、安価な振動センサとして、ひずみゲージが知られているが、異常振動を検出できるほど感度は高くない。
　本発明では、磁性体に歪みを与えると極めて高い感度で透磁率が変化し、透磁率の変化を高周波インピーダンスの変化として検出できることに着目し、さらにカンチレバーの形状を工夫した。本発明により高感度な振動セ ンサを安価に提供することが可能となった。

効果・応用例

＜効果＞　・振動を高感度でセンシング
＜応用例＞・振動スペクトル計測
　　　　　・橋梁やトンネルなどの社会インフラの健全性の診断

知的財産データ

知財関連番号　：特許7075110
発明者　　　　：石山　和志
技術キーワード：制御、計測、機械