窒化アルミニウムワイヤーの製造方法および製造装置

封止樹脂の放熱フィラーとして活用可能

概要

・窒化アルミニウム（AlN）は、高絶縁性と高熱伝導性を有するため、電子部品・半導体装置の封止樹脂中に含有させる放熱用フィラーとして用いられる。しかしながら、従来の方法では1500℃以上の高温で長時間焼成する必要があることから製造が困難という課題を有していた。
・ 本発明はマイクロ波を用いた合成方法が特徴であるため、AlNを簡易に提供することが出来るようになり前記課題を解決することに成功した。
・ 得られるAlNはワイヤー形状であることから従来フィラーに用いられる球状粒子とは異なる特性を示すことも期待できる。

性能・特徴等

効果・応用例

電子部品装置、半導体パッケージ

知的財産データ

知財関連番号　： 特許第5569844号
発明者　　　　： 滝澤　博胤、林　大和ら
技術キーワード： AlN、マイクロ波プロセス、窒化アルミワイヤー