全方位走査ミラー

非線形運動をなくし、安定な制御を可能にするマイクロスキャナ用MEMSミラー

概要

　近年、LiDAR(Light Detection and Ranging) 等の光センサーシステムの小型化等のため、MEMS走査ミラーを用いたマイクロスキャナの開発が激化している。MEMSミラーデバイスの一種である全方位走査ミラーは、自動運転車に搭載するLiDAR用途への応用が期待され、研究が行われている。その実現形態の一つとしては、互いに直交する2つの軸を有する「ジンバル」の技術を利用してミラー部を回転させるものがある。しかしながら、互いに直交する2つの軸周りの回転が互いに干渉し合い、非線形の動きが発生するため、ミラー部の動きを安定して制御することができないという課題があった。

　本発明によって、ミラー部の動きを安定して制御することができる全方位走査ミラーを提供することが可能となった。本発明の全方位走査ミラーは、ミラー部と回転軸と支持部を有し、ミラー部の安定を制御するために慣性モーメントテンソルの垂直成分が一定範囲内にあることを特徴とする。

2軸回転による非線形運動の影響を受けることなく、ミラー部の動きを安定して制御することができる

応用例

・ライダー（LiDAR）等 光センサー技術　
・レーザープロジェクター、レーザーディスプレイ　等

関連文献

[1] K. Suzuki, T. Sasaki and K. Hane, Proc. 15th Annu. IEEE Int. Conf. Nano/Micro Eng. Mol. Syst. (IEEE-NEMS), 2020, pp. 130-133

知的財産データ

知財関連番号　： 特許6890856　
発明者　　　　： 羽根　一博、佐々木　敬
技術キーワード： エレクトロニクス、情報・通信（ハードウエア）、制御、計測、機械