電子線を用いて透明フィルム上に高易動度のZNO薄膜

フレキシブルな透明電極を安価なZNO(酸化亜鉛)で作製可能！

概要

　半導体材料である透明電極の性能改善によるウェアラブル端末のさらなる進化が期待されている。ZnOは代表的な導電性の酸化物であり、透明電極への応用が望まれる。化学気相成長(CVD)・原子層堆積(ALD)・スパッタリング等の薄膜作製法が確立されているが、導電性を損なわずに樹脂などのフレキシブル基材上に形成できないという課題があった。
　本発明では電子線をZnO粒子に照射することで、優れた導電性と、これまでにない安定した構造を有するZnO薄膜をPET上に作製することが可能となる。

応用例

・フレキシブルな形状、軽量、光透過性が求められる半導体材料、たとえばウェアラブル端末など

知的財産データ

知財関連番号　： 特願2019-228641
発明者　　　　： 下位　法弘、田中　俊一郎
技術キーワード： 材料