電子ビーム変調装置及び電子ビーム変調方法

電子ビーム集束時の球面収差を光で補正！場印可不要で簡便な光による電子レンズ

概要

　電子顕微鏡の発明以来、電子ラウンドレンズ（円筒対称なレンズ作用）には電極板による電界型のレンズと、磁束コイルによる磁界型レンズが用いられている。電界/磁界型の電子ラウンドレンズは、原理的に負の球面収差を発生することが出来ないという制約がある。また、従来の非円筒対称な多極子レンズによる球面収差補正装置は、高価（1億円以上）であり、非常に複雑な機構であることがネックである。本発明は上記電子線集光 装置の高精度化、簡素化、低価格化のための課題を解決し、円筒対称偏光ビームによる正の球面収差を有する凹レンズや、負の球面収差を有する凸レンズを含む電子ラウンドレンズの構成に関する。

性能・特徴等

・レーザー光を使った電子およびイオンビームのレンズ
・正と負の球面収差の組み合わせによって球面収差を補正し、ビーム集束特性の改善が可能

本件に関する情報につきましては、別途お問い合わせください。

応用例

・走査型電子顕微鏡(SEM)、集束イオンビーム装置（FIB）、電子ビーム描画装置等
・磁場印可の影響がある材料の検査等
・軽元素化合物、有機物、生体試料の観察・測定・材料評価等

関連文献

[1] Yuuki Uesugi, Yuichi Kozawa, and Shunichi Sato Phys. Rev. Applied 16, L011002 (2021)

知的財産データ

知財関連番号　： 特願2021-056381
発明者　　　　： 上杉　祐貴、佐藤　俊一、小澤　祐市
技術キーワード： 制御、計測、機械