超高分解能・超高感度電子分光器

エネルギー分解能、装置感度、装置サイズ等のトレードオフ条件を同時に満足する、電子分光器の次世代技術

概要

　電子分光は、光や電子等のエネルギー線を物質に照射して外に飛び出してきた電子のエネルギー分析を行うことにより、物質の電子構造を調べる手法である。電子エネルギーの大きさに依存して、飛行時間型や静電偏向型等の各種電子分光器が用いられているが、得られるエネルギー分解能には現状、限界がある。
　本技術は、まったく新しい計測原理に基づく、比較的小型サイズの電子分光器である。その最大の特徴は、装置高感度を維持しつつ、エネルギー線の種類や電子エネルギーの大きさを問わず、世界に群を抜く超高分解能での測定を可能とすることである。

実施例

応用分野

・時間分解や角度分解測定など電子分光一般

知的財産データ

知財関連番号　： 特願2021-083908　　
発明者　　　　： 髙橋　正彦、中島　功雄、鬼塚　侑樹
技術キーワード： 制御・計測・機械